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本报讯 (记者 刘金平) 9月下旬,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在浙江晶盛机电旗下浙江晶瑞电子材料有限公司正式通线。此举实现晶体生长、加工至检测环节全线设备自主研发,更标志着晶盛在全球碳化硅(SiC)衬底技术竞争中实现关键跨越,从“并跑”迈入“领跑”,为我国第三代半导体产业高效智造筑牢关键根基。
就在9月底,“青春之城”上虞再迎科技发展新引擎—上虞区联合创新体系正式发布,总投资21亿元的杭州湾联合创新中心同步启用。作为“创新浙江”战略在县域层面的扎实实践,该举措为上虞科创与产业融合按下“加速键”,成为我区以科技创新与产业创新双轮驱动、推动科研成果向新质生产力高效转化的生动范例。
事实上,坐拥深厚产业根基的上虞,近年来始终被两大难题所困扰:传统产业如何“焕新青春”?新兴产业怎样“加速成长”?对此,上虞区科技局负责人表示:“培育新质生产力,不能等、靠、要,必须主动构建创新体系。”
正是基于此,上虞坚持“科创+产业”理念,搭建起政府、企业、高校、科创平台联动的区域联合创新体系,打通“研发—概念验证—中试—产业化”成果转化链条。今年,上虞成功入选全省第一批科技创新和产业创新深度融合试点,为其突破传统工业瓶颈、迈向新质生产力强区增添了关键“金钥匙”。
浙江大学上虞半导体材料研究中心的成立,便是科技+产业融合的生动实践。“当初选择上虞,就是看中这里的产业基础和政府的创新魄力。”该中心常务副主任陈涛告诉记者,“上虞不仅在金融保障上打破常规,还给予充足的成果孵化周期,没有急着要产出,反而让我们能沉下心攻克技术难题。”目前,中心孵育的2项科创项目已完成产品技术验证,即将从实验室走向生产线。
高能级科创平台的“磁场效应”,正在上虞加速显现。截至目前,上虞已累计建立11所大学研究院,承担国家、省、市重大科技项目14项,申请发明专利741项;与企业共建17个联合研发中心,创建5家省级众创空间,孵化科技型企业超百家,签订合作项目630余个。
企业作为创新主体,以主力军的姿态主动破局,通过技术研发、产品创新等关键行动,引领行业突破发展桎梏。2025年以来,上虞开展的企业研发活动“覆盖提升”2.0行动成效显著:新增13家省级以上企业研发机构,37项市级科技计划项目成功申报,17名“科技副总”“产业教授”跨界任职,“揭榜挂帅”“赛马制”让校企联合攻关更高效,一个个技术难题被逐一攻克。
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走进浙江晶盛机电联合创新中心,碳化硅、蓝宝石等核心半导体材料产品有序陈列,尽显技术实力。“这些晶体是我们自主研发的成果,其光学性能和结构稳定性都是行业顶尖水平。”企业行政办公室主任王超指着晶莹剔透的大尺寸蓝宝石、红宝石告诉记者。据介绍,晶盛机电与浙大上虞半导体材料研究中心联合攻关的“高端集成电路大尺寸硅单晶生长和加工”项目已成功实现8—12英寸“卡脖子”加工装备的国产化替代,而此次12英寸碳化硅衬底加工中试线的通线,也是这一系列技术成果的重要落地。
此外,在第七届长三角一体化发展高层论坛上,由晶盛机电领衔组建的长三角集成电路大硅片抛光技术创新联合体,成为绍兴市唯一入选的第二批长三角创新联合体,进一步彰显了企业在长三角半导体产业创新发展中的核心引领作用。
卧龙集团总部大楼的展示大厅里,科技感同样扑面而来:具身智能机器人灵活转动机械臂,在展板上精准写下“欢迎光临”,流畅动作引来阵阵惊叹。工作人员介绍,依托在电机、控制技术领域多年的技术沉淀,卧龙已实现无框力矩电机、减速器等核心部件自主研发量产,让机器人达到“行走如人、抓取如手”的精准度。如今,卧龙正积极布局人工智能、电动航空等未来产业,在新兴赛道上抢占发展先机,推动传统制造向高端智能产业转型。
“科创+产业”的双向赋能下,上虞正从传统工业强区加速向新质生产力强区跨越,越来越多的创新因子在这里扎根生长,一个个科创成果加速转化为产业动能,书写着县域经济高质量发展的新答卷。